update:

So, nachdem alles Module, die nicht mehr funktionierten spannungsfrei und gelöscht wurden, hab ich beim ersten Modul (Zähler) den RS485 Baustein und den Atmega gewechselt. Ein neu anlernen ging dann (nachdem alle nicht funktionierenden Module hardwareseitig außer Betrieb genommen wurden)
Testweise den alten Atmega wieder eingesetzt, auch der ließ sich anlernen, hatte aber noch die alten Einstellungen drin.

Danach nach und nach ein Modul nach dem anderen zugeschaltet, angelernt und ging.
Jetzt läuft alles wieder, keine Ahnung, warum und wie das passiert ist!
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Desto mehr ich weiß, weiß ich, das ich nichts weiß!